ULVAC愛發(fā)科  螺桿型干式真空泵  MS120A MS600A MS1200A

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

采用ULVAC設計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等

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化學品：SHINETSU信越化學、THREEBOND三鍵、TOAGOSEI東亞合成、三井化學MITSUI、KONISHI小西

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小眾產(chǎn)品：IRI軟水機、USUTANI臼谷電子點焊機、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發(fā)生裝置、工業(yè)CT無損檢測 國產(chǎn)（可提供技術支持與方案）、hibikicorp

新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機

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